二手 PERKIN ELMER 3300 ICP XL #164671 待售

PERKIN ELMER 3300 ICP XL是一種濺射沈積設備，使用感應耦合等離子體（ICP）作為表面濺射塗層的離子源。該系統由一個單獨的沈積室、一個真空室、一個磁控管電源、一個射頻電源和一個ICP電源組成。該裝置使用濺射沈積過程，其中霧化材料聚集在基板表面。這個過程涉及一個產生高功率射頻波的內室。濺射材料隨後在磁控管的幫助下受到強烈的電場，磁控管在沈積在基板表面之前將材料電離。這種工藝被稱為離子鍍層，經常用於半導體領域，作為一種保護細膩成分免受氧化和汙染的方法。3300 ICP XL濺射機由一個單獨的沈積室和一個真空室組成，兩者都與ICP源相連。ICP源產生等離子體，用於提供高電荷的大氣，並在沈積室內產生強大的電場。為了從目標中提取材料並進入基材中,必須使用此字段。然後，電離材料向基板加速，以便在其表面上形成一層薄而均勻的薄膜。這種沈積工藝可用於多種材料，包括金屬、陶瓷和聚合物。在存款參數方面，PERKIN ELMER 3300 ICP XL配備了廣泛的特點。其磁控管電源可輸出高達500瓦的功率,射頻電源可產生高達200瓦的射頻功率。此外，該工具可在1 mT至10 mT的壓力下操作，沈積速率高達0.13 nm/秒。最後，資產帶有直觀的圖形用戶界面，允許對沈積和濺射參數進行細粒度控制。此接口還允許集成其他功能,例如過程控制和數據收集,從而進一步增強了模型的功能。總體而言，3300 ICP XL是一款功能強大且精度很高的濺射設備，適合多種濺射應用。