二手 PERKIN ELMER 4400 #9023631 待售

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製造商
PERKIN ELMER
模型
4400
ID: 9023631
Sputtering system (3) Targets DC Magnetron Cryo pumps DC and RF Power supplies Etch capability Load lock Bias etch preclean capability Original controller Does not include PLC based Includes: Manuals Mechanical vacuum pump.
PERKIN ELMER 4400是一種常用於薄膜沈積的濺射設備,用於研發。該系統具有2室配置,其中目標放置在主室中,基板,如半導體晶片、太陽能電池和顯示器被安置在次室中。濺射單元提供對溫度、壓力、電壓、射頻和直流功率、脈沖時間、脈沖頻率、脈沖寬度等濺射參數的高精度控制。這允許均勻、一致的塗層的基板具有均勻的厚度和形態。此外,該機可配置為雙陰極操作,使兩種材料一次沈積。4400配備了高級自動化功能。它具有計算機控制的機械臂和先進的視覺識別軟件,可以在裝卸過程中檢測基板。這增加了吞吐量,因為基板可以在沒有人工幹預的情況下有效地進出腔室。該工具還提供了用戶友好的圖形用戶界面(GUI),可輕松控制和監視濺射過程。它可以通過以太網連接遠程操作,並且可以存儲工藝配方,這對於大規模生產運行特別有用。此外,該資產還具有獨立的過程控制功能,可調節濺射氣體的攪拌速度和方向。PERKIN ELMER 4400有廣泛的應用,包括半導體器件制造、電池、太陽能電池板和顯示器制造、數據存儲、光學濾波器生產等等。該模型用途廣泛,可用於定制塗層,如多層薄膜,具有出色的尺寸控制、附著力和層間連續性。無論是作為獨立設備使用,還是集成到完整的生產線中,4400提供了可靠、高效的濺射沈積。它結合了最先進的技術,包括對濺射參數的精確控制、先進的自動化以及用戶友好的界面,使其成為滿足研究和生產需求的理想解決方案。
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