二手 PERKIN ELMER 4400 #9161732 待售

製造商
PERKIN ELMER
模型
4400
ID: 9161732
Sputtering system (3) Targets DC and RF magnetron power supplies Load lock.
PERKIN ELMER 4400是一種為各種復雜研究準備表面的濺射設備。該系統采用濺射工藝,將材料薄膜沈積在各種基板上,用於薄膜、金屬掩模圖案和其他應用。高性能沈積裝置利用離子源用材料轟擊基板,從而產生均勻、優質、受控的薄膜表面。該機設計有一個大的工作環境,包括一個多氣體歧管和氣體面板,以允許各種材料的沈積。它最多可以在三個基板上運行,並且可以配備常規的直流或直流脈沖類型的濺射源。該工具的最大濺射速率為每分鐘2納米,允許快速高效的沈積過程。4400配備了磁控管源,它提供了比線性源更好的沈積速率。該資產還配備了先進的控制器,以確保過程的穩定性和可重復性,以及安全互鎖機制。它還包括一個具有脈沖功率、多步排序和配方存儲功能的自動控制器。控制器還具有內置溫度監視器和自動關閉功能。PERKIN ELMER 4400是針對高通量沈積環境開發的,具有多種易於使用的功能,例如帶有自動啟動功能的彩色圖形用戶界面。該模型還包括一個自動基板傳輸機制和先進的診斷設備,以確保基板無應力傳輸。此外,該系統可以擴展用於多濺射應用,允許多薄膜的沈積。4400代表最新的濺射技術,可用於多種應用,包括有針對性的金屬面罩圖案、蝕刻和鈍化。該單元提供了用於濺射裝置的最高精度、重復性和控制,可用於各種不同的研究和工業設置。
還沒有評論