二手 PERKIN ELMER 4400 #9210436 待售

PERKIN ELMER 4400濺射設備是一種高性能儀器，用於將金屬、復合和混合化合物薄膜沈積在基板上。這種濺射系統是工業、科學和學術研究的有力工具。4400使用磁控管和離子束輔助磁控管濺射。磁控管濺射產生均勻的薄膜沈積，用於基礎材料沈積應用。離子束輔助磁控管濺射技術允許更大的薄膜附著力，提供了一個優質的薄膜。此外，離子束輔助磁控管濺射技術非常適合沈積具有高長寬比的保形膜。該機組的電源能夠提供精確電流控制的五目標濺射，具有極好的重復性。該機的4袋式鎖載機提高了沈積效率和吞吐量。負載鎖資產確保空氣汙染物的最小化，並允許穩定的底壓。該軟件包括一個高級用戶界面,可輕松控制流程參數。一個高級數據記錄模型在操作過程中記錄用戶集參數，還包括實時沈積速率控制。設備中還包括用於監測環境壓力的壓力監測儀。PERKIN ELMER 4400的腔室直徑為830mm，腔室高度為368mm。該腔室設計為與多種材料提供高度的均勻性和兼容性。該系統采用獨特的基座設計，減少了過程加熱，改善了晶圓與腔室之間的通信。該裝置還包括一個先進的抽水機，由兩個階段組成，這兩個階段的設計都是為了減少刀具過渡和減少過程汙染。一級渦輪泵采用雙級密封，保證了室內的高度清潔。第二級冷凍泵凍結任何殘留的汙染物，使它們變得惰性。4400濺射資產是工業級薄膜沈積的理想選擇。它結合了技術和模型增強功能，確保了高質量、合規的薄膜具有卓越的附著力和出色的可重復性。這種設備為研究人員提供了一種探索和開發薄膜技術的可靠和高效的方法。