二手 PERKIN ELMER 4400 #9242647 待售

PERKIN ELMER 4400是一種濺射設備，有助於將多種材料沈積到半導體、絕緣體和金屬等各種基板上。該系統使用戶能夠為開發復雜的納米結構創建特定厚度的精確層。除此之外，它還可以用於生產多材料和多層設備。本機裝有兩把E-Beam槍，用於基板加熱和蒸發。4400具有高精度的過程控制功能。它提供了廣泛的過程，如大功率脈沖直流濺射、無功濺射和低功率直流濺射。膜的厚度可以通過過程控制參數以及濺射過程中的操作參數來精確控制。它還提供了一系列標準配方，以確保可重復和可靠的結果。PERKIN ELMER 4400的設計是由一個帶平面的圓柱形室組成，用於鎖載門。該機器提供了一個3英寸晶圓的載荷容量，對角線可達300毫米晶圓。在加工室內部，有磁控管源和高價值功率耦合，用於有效塗覆基板。該工具還包括可編程旋轉器,可實現高達4000 RPM的旋轉速度。這有助於在空間上均勻地將薄膜沈積到大基板上。此功能還提供了改進的過程均勻性和可重復性。4400資產還利用光發射光譜檢測層中的雜質、夾雜物和非均勻性。這有助於測量薄膜的材料沈積速率、厚度和組成。工藝室內的溫度由集成傳感器監測，氮氣凈化控制確保了清潔的沈積背景。該模型還提供了一個健壯的MFC馬達控制.該設備具有易於使用的GUI,可控制轉子、門、驅動器、電源和冷卻系統等不同組件。PERKIN ELMER 4400設計可靠且高效,適用於各種應用。它還設計了耐用的結構，以確保持久的性能。