二手 PERKIN ELMER 4400 #9262973 待售

PERKIN ELMER 4400是一種先進的濺射設備，設計用於將金屬和其他材料的薄膜和層沈積到半導體基板上。它是一個小巧的系統，具有很高的濺射速率和均勻性，功率範圍為10-300瓦。該裝置具有方便的4英寸晶圓尺寸沈積能力，配有一個3目標濺射模塊，每個模塊能夠應用12-15種材料。它具有扁平液晶觸摸屏儀表、內置溫帶氣體管理機以及可調節的雙網電磁屏蔽。4400的關鍵特征是高速率濺射率、出色的均勻性和易於調整的濺射參數。該工具具有三個獨立的目標腔室，能夠進行各種基板配置。它具有可調基板溫度範圍約-120 -+400°C，以及強大的氣體管理資產。可調壓力範圍為1-5mbar。在控制方面，PERKIN ELMER 4400配備了先進的Auto-Assembly編程軟件，使其能夠處理和校準目標計數器參數，以及編程自定義沈積模式。該型號還配備了雙X-Y級配置機械臂，用於目標和基板的精確定位。為了實現平滑的物料傳輸,設備配備了自動化的2軸旋轉傳輸模塊,可確保整個表面的均勻性。4400還配備了一個緊密的殘留氣體分析儀，給用戶以前聞所未聞的對其材料沈積過程的控制和精確度。綜上所述，PERKIN ELMER 4400是一個先進的濺射系統，能夠精確的薄膜沈積具有極好的均勻性，所有這些都在一個緊湊的單元內。其強大的功能為用戶提供了比以往更精確、更精確地控制材料沈積過程的手段。