二手 PERKIN ELMER 4400 #9355617 待售

製造商
PERKIN ELMER
模型
4400
ID: 9355617
Sputtering system (3) Round targets, 8" With RF etch CTI On board (8) cryopump with fast regen controller ADVANCED ENERGY RFG 1250 RF Power supply ADVANCED ENERGY RFG / AZX RF Controller GRANVILLE PHILLIPS 307 Ion gauge controller MKS 270 Signal controller.
PERKIN ELMER 4400是一種用於研究和工業應用中的薄膜沈積的濺射設備。這種設備具有許多特性和技術,使其能夠快速高效地處理基板。4400年采用的脈沖反向磁控管濺射技術是生產薄膜和增強基板附著力的一種通用、可靠的工藝。根據設定的參數,可以快速準確地調整工作周期,從而確保膠片的持續增長。該系統還允許多目標配置,這對於批量生產線來說可以是一大優勢。PERKIN ELMER 4400還設計了堅固的電源,可精確控制各種薄膜沈積技術所需的射頻功率水平。這樣可以確保膠片的均勻性和一致性,而不管目標條件如何。4400通過其創新的真空裝置確保了清潔的工作環境。它采用多級泵機設計,包括愛德華茲40 XDS幹式渦旋泵和排氣系統150幹式真空泵,可快速排出沈積室和工具排氣。此外,PERKIN ELMER 4400設有直列式石油分離器,以防止油汙。可用基板尺寸和配置的範圍也隨著4400的擴大而擴大,因為它可以容納直徑可達8英寸(200毫米)的晶圓尺寸。這提供了更大的靈活性,以適應不同的基板和處理小運行的能力。總體而言,PERKIN ELMER 4400提供了精確度、可靠性和生產率,使其成為各種薄膜沈積應用的首選,包括醫療設備、半導體、復合半導體和工業真空元件。這種濺射資產的設計提供了一個簡單的方法,以更薄的薄膜沈積與流線型工藝。它還配備了許多功能和技術,可確保完成最艱巨的任務。
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