二手 PERKIN ELMER 4410 DC #9183220 待售

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製造商
PERKIN ELMER
模型
4410 DC
ID: 9183220
Plasma sputter system P/N: 222-226-310 Gases: O2, Ar, Ni, Si3N4, Cu, Ag, Au, Ti, Si, Ni, SiO3, Al Currently de-installed.
PERKIN ELMER 4410直流濺射設備是一個強大的薄膜沈積系統,設計用於需要沈積薄膜材料的應用,如金屬、氧化物、半導體和陶瓷。它提供了廣泛的沈積源,包括直流電和射頻濺射源以及離子束源。該機組的特點是堅固耐用,運行成本低。4410直流濺射機可單次沈積厚度達2 μ m的薄膜,采用直流或射頻濺射工藝沈積導電、絕緣或半導體薄膜。這種用途廣泛的資產可以服務於照片掩蔽、醫學診斷、半導體制造和計量等應用。濺射模型使用高度可靠、壽命長的濺射源來提升過程穩定性,通過高效的渦輪分子泵送設備進一步改進,以維持室內有利的氣氛。在安全方面,系統配備了雙模工藝安全和應急快門。PERKIN ELMER 4410 DC的另一個吸引人的特點是其集成、易於使用的過程控制器。使用直觀的用戶定義過程控制語言,用戶可以配置設備參數並從任何地方遠程控制。在2x10-7 Torr的最大底壓下,4410 DC在薄膜沈積中達到均勻性。該機還集成了先進的外部控制,包括溫度控制精度優於0.1°C/min(帶PID閉環)和薄膜速率,間距精度± 0.05nm/min。PERKIN ELMER 4410直流濺射工具是需要高精度、高速、經濟高效的薄膜沈積應用的理想解決方案。其可靠、堅固的設計和優異的性能使其成為工業薄膜沈積應用的理想選擇。
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