二手 PERKIN ELMER 4410 #293805512 待售

PERKIN ELMER 4410是為薄膜沈積而設計的濺射設備。該系統設計用於金屬、液體淬火、陶瓷氧化物和金屬間化合物的平衡高效蒸發、濺射和氧等離子體沈積。設有四個陰極和兩個電子束源，用於沈積和蝕刻。4410采用雙腔室設計，包括工藝腔室和差動泵送腔室。該裝置提供四個帶有直接和脈沖源的陰極，用於金屬蒸發、濺射和氧等離子體沈積、液體淬火、陶瓷氧化物和金屬間化合物。這臺機器還包括一個外部的偏壓差速泵工具，允許對工藝室內的大氣進行精確的控制。它還包括一個微型鎖閥機構，以允許有選擇地排出腔室。資產的濺射源具有直接濺射、離子轟擊和級聯沈積等先進的操作模式。為了提供質量最高的薄膜，該型號配備了兩個E光源。這些源在廣泛的能量範圍（0到6kV）上運行，具有各種加速減速和脈沖寬度的選項。數字深度控制器提供了對濺射膜的精確深度控制。電子束源還包括用於蝕刻前和蝕刻後過程的真空烘烤設備。該系統還包括一個自動樣品更換器，用於在多個基板上自動沈積薄膜。PERKIN ELMER 4410包含一系列安全功能。該裝置包括s t w o s s t a g e熱交換器和編程溫度控制機，用於過程中的精確溫度控制。該工具還包括一個單級渦輪泵，在工藝室提供高達5毫巴的分壓。此外,在模型發生故障時,該資產還具有自動關閉功能.為確保準確性,4410配備了強大的控制器。該控制器具有圖形用戶界面和觸摸屏,易於編程和操作。控制器還通過車載PC對設備參數進行實時監控。該系統還包括一個校準單元，用於控制功率和電壓，以實現基板上的最佳沈積。控制器還可以方便地輸入食譜。PERKIN ELMER 4410提供堅固的設計,具有出色的濺射沈積和蝕刻特性。該機器包括先進的來源和一系列的安全功能，以產生一致的高質量薄膜。此外，控制器還能對刀具參數進行精確的實時監控。這種資產非常適合在各種基質上沈積各種材料。