二手 PERKIN ELMER 4450 #153442 待售

PERKIN ELMER 4450是一種濺射沈積設備，用於半導體工業中材料的物理氣相沈積（PVD）。它是一個模塊化系統，具有兩個具有交鑰匙裝卸功能的濺射室，以及專用的基板支架組件。4450是一個全自動濺射裝置，由過程監控觸摸屏界面控制，顯示所有機器信息。機器人加載和卸載允許快速、一致的基板傳輸。該工具還包括自動真空清洗和維護周期,以確保可重復、可靠的操作。PERKIN ELMER 4450配備了五個濺射源--一個電子束槍、三個平面磁原子濺射槍和一個垂直磁原子源。電子束槍噴射高度均勻的薄膜沈積物，而磁原子源則設計用於更大面積、更厚的薄膜應用。電子束槍的光斑尺寸為5毫米，允許非常精確的高分辨率特征沈積。4450采用了先進的濺射沈積和動態離子束蝕刻技術。這允許在晶圓、芯片和板等基板上應用復雜而精確的分層模式。基板溫度可從室溫最高可調至400°C，允許各種材料沈積。在濺射過程中使用了多種不同的氣體，如氙氣、氧氣和氮氣。它們在室內帶電加熱，然後以離子的形式加速向底物。當離子撞擊基板時,它們會使目標材料從基板上濺出或吹出.這種沈積過程在表面上形成一層薄膜。PERKIN ELMER 4450是一種可靠高效的濺射資產，適用於各種PVD應用。它的自動化過程、精確的沈積能力和可靠的操作使其成為各種工業和研究應用的寶貴補充。