二手 PERKIN ELMER 4450 #9113778 待售

PERKIN ELMER 4450是一種用於薄膜沈積應用的濺射設備。該系統包括單源磁控管濺射和電子束蒸發。濺射源直徑16英寸，由不銹鋼靶標、石墨電樞和磁鐵電源組成。蒸發源有三個加熱單元，每個單元都配有燈絲電源，配有加熱的燈絲，用於電子束蒸發。該單元提供了許多可控參數來控制進程。濺射源功率、燈絲功率、目標與基板的距離、電流與偏置都可以調節。蒸發源由三個單獨的加熱單元組成，可單獨操縱，可串聯或並聯使用。加熱裝置和幾何構型的功率也可以調整。該機設計有安全功能，以防止過熱。它設計接受大多數常規類型的真空泵，並配有溫度傳感器、壓力傳感器、真空線、LED顯示屏和控制板。也可以使用標準以太網連接遠程操作。除了標準的濺射工具外，4450還附帶了幾個可選配件。其中包括濺射塗層、基板加熱元件和基板支撐資產。濺射塗層設計為均勻速度的均勻濺射材料，而基板加熱元件則用於在蒸發過程中幫助保持整個腔室的均勻溫度。基板支撐模型提供了精確的基板對準和安裝，允許精確的薄膜沈積。PERKIN ELMER 4450是為薄膜應用沈積而設計的可靠高效的濺射設備。它的多功能性使得它適用於一系列的應用，包括介電、有機和金屬薄膜沈積。它具有眾多的控制功能,可以對過程進行精確的操作,而各種可選附件提供了額外的靈活性。