二手 PERKIN ELMER 4450 #9114027 待售

製造商
PERKIN ELMER
模型
4450
ID: 9114027
Sputtering system TaN process Omron PLC Control (2) Gas (2) Delta target (2) AE MDX-5 PS CT-8 Cryo pump Pallet, 6" No etch, LL heat Currently installed 2000-2005 vintage.
PERKIN ELMER 4450是一種濺射系統,主要用於材料的薄膜沈積和分析。它非常適合各種研發任務,如納米結構材料的沈積和導電層的形成。設備由一個帶有目標支架的濺射室、一個工藝氣體入口和一個位於目標下方的平板基板支架組成。在腔室內部,高純度氙氣或其他惰性氣體被熱陰極或電子槍電離,將物料從目標濺射到基板上。這種等離子體濺射沈積是一種緩慢的、高度受控的過程,能夠在金、銅、鉻等材料的精確厚度下將薄而均勻的層沈積到矽、玻璃、陶瓷等基材上。系統的計算機控制軟件能夠設置和調整廣泛的工藝參數,以滿足特定的沈積要求,如基板溫度或濺射速率。這些包括氣體壓力、基板偏置、目標功率、基板曲率和入射角。4450能夠對所沈積層的表面組成、化學組成和組成剖面進行完整的現場分析。這是通過直接在沈積室內安裝適當的外部分析設備來完成的。這樣的分析使研究人員能夠優化沈積層的性質,並驗證所需的層厚度、組成和輪廓。此外,PERKIN ELMER 4450允許用戶實施多種技術來提高沈積膜的質量,例如離子束混合或反應性濺射。這些技術擴大了可能沈積的材料的範圍,改善了該層的電、光、熱特性,並使化合物如氮化物和碳化物的形成成為可能。4450是一個高度精密的濺射系統,其設計提供精確和可重復的薄膜沈積與完整的現場分析。憑借其廣泛的可用參數和設置,它為研究人員提供了將一系列材料沈積到各種基板上以及控制和優化層的特性的能力。
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