二手 PERKIN ELMER 4450 #9190161 待售
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ID: 9190161
Sputtering system
(4) Target systems
Round target, 8"
RF Target
(3) DC Targets
Load lock pallet, 24"
Data logging
Recipe control
Remote operation
Color touch screen
Jennings vacuum: 5kW
Optical shutter position sensors
Simplified sputter head design
Industrial PC
Water / Pneumatic distribution box
Electro polished chambers
VAT Throttling gate valve
Keyboard
Vexta precision table motor
Controllers
Oil free scroll type mechanical pump
Color coded air
N2
Water lines
Mass flow controller
Residual gas analyzer
Quick disconnects
Mounted rails for easy access
Touchscreen display
Process logic controller.
PERKIN ELMER 4450是一種高端氫化物濺射系統，旨在以受控和均勻的方式將金屬或合金薄膜沈積到基板上。常用於半導體、磁性器件、光學等電子元件的製造。該系統由幾個組件組成：一個腔室、一個基板支架、一個電源、一個蒸發器、一個快門機構和一個射頻發生器。腔室由兩個不銹鋼壁組成，並被密封以保持真空。基板支架安裝在腔室上，用於固定正在處理的基板。電源用於向腔室提供恒定電壓和電流，並在運行過程中予以支撐。蒸發器用於蒸發要濺射到基板上的材料。快門機構用於控制材料何時汽化。最後，射頻發生器用於提供使汽化材料偏轉到基板上的電子流。一旦材料汽化，基板支架被放置在腔內，然後產生真空。射頻發生器用於在腔室內部產生電場,並產生電子束,使材料從基板表面濺出。這個過程重復數百次，直到達到所需的薄膜厚度為止。使用濺射技術的優點是允許將均勻的材料層沈積到基板上，然後可以進行圖樣化或塗覆。此外,該工藝還可用於制造具有優異電氣、光學和機械性能的高性能、耐用材料。4450可用於許多不同的應用，包括創建高質量的半導體元件、磁性材料、光學鏡面、鏡面塗層、內存設備等等。此外，它還可以用於研究和開發目的，因為該系統可以產生更精確和均勻的層，混合不同元素和化合物。
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