二手 PERKIN ELMER 8567 #9184892 待售

PERKIN ELMER 8567濺射設備是用於表面制備、薄膜沈積和真空塗層應用的先進工具。該系統由多目標雙陰極行星濺射塗層、1600W直流電源、控制器和真空室組成。雙陰極濺射裝置對目標位置、濺射功率、腔室壓力、濺射氣體流量等工藝參數提供全面控制。使用這些參數，用戶可以改變薄膜沈積的膜厚度、表面積、均勻性和其他參數。離子源是靶上的一個「暗點」，在沈積前可以對表面進行有效的離子清洗。該單元的高度可編程控制器可用於設置所需表面制備和沈積過程的配方，而自動化過程監視機器則允許對過程參數進行連續監控。該工具具有獨特的內部反應性等離子體源，可用於氧化物或氮化物層沈積等反應性濺射過程。反應性等離子體源可以在沒有任何額外設備的情況下沈積高質量的薄膜。該資產的真空室設有高效低噪聲渦輪分子泵和機械夾緊基板加工的機器人臂。機械臂高度精確，可用於將晶片和基板精確定位到沈積過程的確切位置。該型號還有廣泛選擇的附件如燃氣攪拌機、UV-ODE源和渦輪壓力表，可用於各種沈積技術。8567濺射設備是薄膜沈積和表面制備應用極為強大可靠的工具。它非常適合原型設計和研究應用,提供對表面特性的精確控制和廣泛的工藝功能。