二手 PERKIN ELMER ICP 5300DV #9224906 待售

PERKIN ELMER ICP 5300DV是一種用於材料加工和制造業的最先進的濺射設備。本機用於各種電子、光電和光伏器件制造中常用的薄膜材料的沈積。濺射系統由6軸機械臂組成，用於提供高度的樣品均勻性和過程均勻性。濺射裝置能夠高精度、高精度地沈積薄膜層。低表面粗糙度的沈積速率可達0.02 nm/秒。機器采用多個濺射源，可以塗覆厚度均勻、均勻的大基板。它還包括用於取樣和更換的機械臂。濺射工具設有氣體和流體控制單元，為氣體提供可變壓力和流量。這對於保證均勻的薄膜沈積非常重要。該資產還包含一種惰性氣體（氙氣），其流動可以被控制，以減少氣體損失和防止底物氧化。ICP 5300DV模型是一種用途非常廣泛的設備，提供高速率蒸發、離子濺射蝕刻、沈積可調氣壓範圍為0.01-20 Torr的薄膜等一系列工藝能力。它還包括一個能夠提供高達5,000伏的可調電壓輸出和5,000瓦的最大功率的電源。使用PERKIN ELMER ICP 5300DV時要考慮的最重要因素之一是安全做法。該系統具有安全功能,如緊急停止按鈕、自動緊急關閉和惰性氣體外殼設計,可消除潛在的火災和爆炸風險。它還包括一個展位，以容納任何從蒸發過程中逸出的氣體和顆粒。總體而言，ICP 5300DV是一種可靠的濺射裝置，具有極好的薄膜層沈積能力。其特點提供了流程靈活性、方便用戶的控制以及安全、清潔和高效的材料加工環境。