二手 PERKIN ELMER ICP 5300DV #9392687 待售

PERKIN ELMER ICP 5300DV
ID: 9392687
Sputtering system.
PERKIN ELMER ICP 5300DV是一種設計用於將薄膜塗層沈積到基板上的高性能濺射設備。它是一種將精密濺射與受控沈積相結合的先進系統,具有較高的沈積速率和優良的薄膜性能,適用於廣泛的應用。該單元由濺射室、底座和真空泵站組成。濺射室裝有幾個磁體,產生強烈的磁場,便於目標材料在室內電離。然後使用氣體噴射機將濺射氣體引入室內。底板包含工件,通常加熱到所需的沈積溫度。室內可控制和監控溫度、壓力和功率。一旦腔室充滿了所需的氣體,就會向目標施加雙極電壓。氣體中的離子隨後加速向目標,引起原子轟擊,這被稱為「濺射」。濺射的原子然後穿透基板形成薄膜塗層。ICP 5300DV還配備了一個特殊的脈沖電源,可以控制材料的均勻沈積。電源可以編程為在濺射過程中改變電壓和電流,這有助於確保均勻和高質量的塗層。該工具還使操作員能夠調整濺射速率,從而更好地控制沈積膜的厚度。資產能夠從各種來源,包括金屬、非金屬、化合物和合金,沈積各種材料。沈積速率可從每分鐘幾納米調到每分鐘幾十微米,可用於研究、原型制作和生產應用。總體而言,PERKIN ELMER ICP 5300DV是一種先進的濺射模型,可用於將高質量的薄膜應用於一系列基板。該設備提供了對工藝參數的特殊控制,可用於以各種沈積速率沈積各種材料。
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