二手 PERKIN ELMER / RANDEX 3140 #9247279 待售

PERKIN ELMER/RANDEX 3140濺射設備是一種高質量的濺射系統，旨在將所需材料的薄膜沈積到基板上。它是一種雙磁控管裝置,可促進對濺射沈積的更多控制,非常適合需要精確的應用,如塗覆光學元件、芯片上實驗室設備、數據存儲、顯示器和材料分析。RANDEX 3140型號具有13英寸直徑的真空室，適合各種尺寸可達12英寸的基板。PERKIN ELMER 3140還提供了廣泛的操作壓力和沈積速率。它能夠在高沈積速率下生產具有良好附著力、均勻性和均勻性的高質量薄膜，非常適合采用等離子體增強化學氣相沈積、反應性濺射沈積或物理氣相沈積技術進行薄膜沈積。該機采用高精度控制器供電，對直流和射頻功率、射頻頻率和濺射壓力進行精確優化，以實現均勻的薄膜沈積。3140還具有種類繁多的操作參數，使用戶可以定制沈積過程，優化成品膜的目標特性。此外，PERKIN ELMER/RANDEX 3140還包括一個自動晶圓處理工具，在紡絲過程中方便準確。它包括可調節的安全特性，如傳感器和關閉系統，如果腔室中有晶片，將停止濺射。RANDEX 3140還配有一個電紅外加熱元件，用於排氣基板和啟動濺射過程。PERKIN ELMER 3140濺射資產是將所需材料的薄膜沈積到基板上的絕佳工具。它是一個高質量、集成的濺射模型，提供精確的可調參數和特征，保證了薄膜沈積應用的成功。易於使用的控制器、直觀的安全特性和自動晶片處理設備對沈積參數提供了優越的控制，讓用戶創造出附著力、均勻性、均勻性都很好的優質薄膜。