二手 PERKIN ELMER Randex 3400 #9115270 待售

ID: 9115270
Sputter System Includes turbo pump.
PERKIN ELMER Randex 3400是一款設計用於各種半導體制造應用的高性能濺射設備。該系統能夠在基板上生產各種材料的均勻一致的薄膜塗層。它配備了許多獨特的特性,使其非常適合大批量生產,包括自動濺射速率控制和車載晶圓直徑編程。該單元的核心是它的單陰極脈沖直流濺射源,它允許反應塗層和非反應性塗層。高功率電源能夠在各種基板上保持較高的濺射速率,並配有電弧屏蔽裝置,以防止過度損壞。Randex 3400采用先進的雙模坡道控制機,自動優化濺射速率,最大精度薄膜生產。它配備了Peak Power Monitor,可連續監控電源的性能,確保始終保持高質量的薄膜。先進的峰值功率調節工具確保塗層領域的微小變化得到快速準確的調節。該資產包括許多高級功能,例如用於均勻一致脈沖功率的高熱穩定陰極設計,以及用於即使在高溫下也能保持穩定濺射速率的高溫可烘烤屏蔽設計。該型號還配備了高容量冷凍泵和用於改進晶片負載的高容量負載鎖。PERKIN ELMER Randex 3400旨在滿足苛刻的半導體制造要求。它通過自動控制源電源以獲得最佳性能來確保高精度塗層,從而實現均勻一致的薄膜。設備也非常可靠和耐用,占地面積小,運營成本低。它的靈活性和性能使其成為滿足半導體制造需求的理想選擇。
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