二手 PERKIN ELMER / RANDEX 3410-6J #9275483 待售

PERKIN ELMER/RANDEX 3410-6J是一種多目標濺射設備，能夠同時蒸發多種材料。適用於各種應用的薄膜沈積，包括平板顯示器、光學塗層、封裝。該系統具有高真空多層磁控管濺射源，利用磁場將離子引向基板材料，形成薄膜。它使用四個沈積源，兩個6英寸目標和兩個4英寸目標。6英寸的目標可用於直徑不超過6英寸的基材。4英寸的目標可以用於較小的基板。該裝置還配備了一臺原位直流監測機，用戶可以實時跟蹤和記錄其沈積過程。一個集成控制器操作工具的主真空和輔助旋轉泵以及控制源。控制器還充當現場直流監測資產的接口，允許在過程的任何時刻進行測量。該模型包括一個內部載荷鎖，它允許樣品的變化進行，而不會失去真空。內部負載鎖還配備了自動化的樣品處理設備，使基板從一個位置更容易更換到另一個位置。該系統能夠濺射不同的材料，包括金屬、合金、氧化物和氮化物。它包括多目標功能，允許創建復雜的薄膜結構。它還包括一個平面機源配置和一個雙等離子體源配置，允許不同的膜密度和厚度在同一沈積作業。該裝置能夠使鋁上的濺射沈積速率高達6納米/秒，矽上的濺射沈積速率高達1納米/秒。其低於2 × 10-10 Torr的底壓允許非常好的真空性能。該機器還能夠均勻沈積導電膜和非導電膜。該工具人性化，包括機械互鎖、開室檢測、閉室檢測、電子斷路器等多種安全功能。資產還配備了許多其他功能，包括釋放和重新加壓腔室時的綜合清洗。RANDEX 3410-6J是需要能夠精確薄膜沈積的多目標濺射模型的用戶的理想選擇。其先進的技術和先進的安全功能為用戶提供了一個高效的解決方案，以滿足他們的薄膜沈積需求。