二手 PLASMA QUEST S5000 #293671000 待售

PLASMA QUEST S5000是一種濺射設備，是一種真空沈積設備，設計用於將材料薄膜沈積到基板上。該系統能夠在高真空條件下處理基板和目標，還具有可選的低壓工藝室，可用於低壓沈積應用。S5000濺射裝置由高質量的材料和部件構成，在加工過程中提供優異的性能。機器由四個獨立的腔室組成，包括一個超高真空腔室、一個高真空塗層/濺射腔室、一個等離子腔室和一個工藝腔室。真空室由不銹鋼構成，額定真空水平高達1 x 10-9 Torr。濺射陰極由鎢制成，由交流電源供電。濺射槍的設計允許對目標和基板定位進行獨立控制，從而能夠將目標材料精確地放置在晶圓上。該工具還配備了射頻等離子體發生器和等離子體監測資產，用於更精確的沈積和控制。PLASMA QUEST S5000憑借其多室設計和可選的低壓工藝室，用途廣泛。這允許廣泛的材料加工應用，包括濺射沈積、氧化、氮化和擴散。該模型提供多種工藝配方，能夠處理導電材料和絕緣材料。該設備還可用於廣泛的批量和單片加工應用。S5000易於使用和維護。該系統配有全面的用戶手冊和在線支持，因此操作維護直截了當。該設備還具有多種診斷和安全功能，如電弧腐蝕防護和超溫關閉。該機還具有較低的噪聲水平和較低的工作溫度以獲得最佳性能。總之，PLASMA QUEST S5000是一種先進的濺射工具，為各種薄膜沈積工藝提供了卓越的性能和精度。資產由優質材料和構件構成，使用和維護簡單。S5000采用多室設計和多種工藝配方，是制造高質量薄膜的理想選擇。