二手 PLASMATHERM / UNAXIS Clusterline 300 #9123065 待售

PLASMATHERM/UNAXIS Clusterline 300是一種可靠和先進的濺射設備。它是磁控管濺射沈積薄膜金屬、絕緣和半導體材料的綜合系統。該單元設計用於一次處理四個8「基板，或兩個12」基板。其緊湊的設計使其能夠提供卓越的性能和成本效益。該機采用自動化材料沈積工藝，采用數值PLC控制工具進行智能監控。利用優化的基底運動和先進的工藝參數控制。此外，該資產還配備了雙磁控管源，以確保物料沈積均勻。該模型還包括用於改進步進覆蓋的旋轉輔助和混合（等離子體）源。UNAXIS Clusterline 300還配備了廣泛的綜合源材料和基材。這包括金屬、絕緣體、光學塗層和PECVD-聚合物。該設備還配備了先進的溫度控制系統，並配備了先進的溫度監視器，可確保整個設備的溫度準確穩定。PLASMATHERM Clusterline 300還配備了創新的先進基板清洗機，確保了最高質量的薄膜沈積。該工具還可減少進紙、汙染和陰影,同時確保所有四種基材的厚度均勻。此外,該資產還配備了用於實時薄膜監控的高級準總反射計（QTTR）。Clusterline 300是一種靈活高效的模型，為薄膜沈積提供了最高的生產率。可靠，性價比高，機器壽命長。