二手 QUORUM TECH / BIO-RAD / POLARON E-5100 #9185072 待售

Quorum TechnologiesQUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON E-5100是為高級研發應用而設計的先進濺射設備。該濺射系統旨在為用戶提供薄膜沈積和蝕刻領域的最大通用性。BIO-RAD E-5100提供扁平和圓柱形腔室,並根據需要增加構建高度,以實現多種工藝技術。這包括幾種類型的磁性和射頻濺射，離子植入和清潔，和陰影。標準的在線過程控制單元可確保對機器的所有過程和參數進行監控和記錄,以便進行精確分析。該工具還包括可編程自動提升源等功能，使用戶可以輕松地移除使用過的材料。氧化鋁襯裏在清洗時也能保證較高的等離子體密度。可以使用數十種不同的陰極配置，讓各種塗層材料被濺射。整體磁屏蔽確保樣品不會受到資產磁場的不利影響。POLARON E-5100專為不同的目標配置而設計,可處理高達2微米厚的薄膜。為確保薄膜覆蓋均勻，可以使用廣泛的光學隔離屏蔽和導流板。運行濺射模型所需的電源是可調的，用戶可以根據自己的工藝需求完全定制設備。E-5100有兩條集成氣體管線，控制模塊允許用戶設置低至3mBar的壓力。為了有效的濺射後處理，包括了專門的化學蝕刻系統。Quorum TechnologiesQUORUM TECH E-5100是一個可靠的濺射單元,提供卓越的壽命和性能。它結合了通用的過程控制、廣泛的屏蔽和強大的硬件,使其成為各種薄膜應用的理想選擇。它混合了質量元件和高精度調整選項，是先進研發的理想選擇。