二手 ROBUST 300 #293596982 待售

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濺鍍系統
製造商
ROBUST
模型
300
ID: 293596982
晶圓大小: 12"
PVD Sputtering system, 12" Chamber Chiller (2) Loadports (5) Pumps Robot RF Generator rack Voltage box.
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ROUBT 300是一種工業級濺射設備，旨在可靠地提供具有嚴格控制和準確性的沈積率。該系統具有強大的三目標直流濺射源，可用於將物料層沈積在幾納米薄的基板上。由於集成了變頻驅動器,該單元可以在廣泛的溫度範圍內運行,並且可以處理高達600°C的溫度。它由可編程邏輯控制器（PLC）控制，對於可重復的過程可以完全自動化。該機由工藝室、渦輪分子泵和三目標磁控管濺射源組成。整個基板或工件采用一對分級阻抗、全磁控管入射、多脈沖光源，專門設計用於最大程度地提高工藝均勻性。渦輪泵有助於確保高效節能的真空質量。三目標磁控管濺射源是300的心臟，具有強大的工具配置，能夠產生高能離子轟擊和提供均勻膜粘附。此外，該工藝室還配備了噪聲抑制機制和無幹擾操作，非常適合在惡劣的工業環境中使用。資產可靠性高、使用方便，其魯棒性設計使其成為高精度塗層要求的可靠選擇。該型號自推出以來就經過了ASEP認證，保證了準確性、化學和物理穩定性以及設備壽命。此外,RUBIT 300可以與各種附件和軟件集成,從而可以自動控制整個濺射過程。綜上所述，300是一種可靠而強大的濺射系統，旨在滿足工業應用的嚴格要求。具有噪聲抑制單元、高效渦輪泵、ASEP認證機器等特點，為工業用戶的高精度塗層需求提供了可靠準確的解決方案。
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