二手 SEMICORE / MRC SEC-643 #9250939 待售

SEMICORE/MRC SEC-643是為半導體沈積應用而設計的金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）濺射設備。它配有四個高性能肖特基離子源，能夠實現高速率沈積。該系統具有多功能電源配置,可提供最大程度的控制和靈活性。它能夠為一系列沈積技術提供高達450 W的功率。MRC SEC-643配備了兩個大型目標平臺，可同時沈積多達四層薄膜。另外,目標可以在任何方向旋轉,以獲得最大的保形增長。該裝置還具有可調節的腔室壓力控制，允許最佳工藝條件，確保最高質量的薄膜。SEMICORE SEC-643機還為沈積過程提供了1類清潔環境。該工具包括蒸氣捕獲資產、力流模型和高容量過濾設備。蒸氣捕獲系統可確保最小的蒸氣損失，而力-流單元則可確保室內空氣通過高效顆粒狀空氣（HEPA）過濾器過濾。高容量過濾機包括深褶皺過濾器，以及深層活性炭過濾器。SEC-643工具包括一種超低振動魯棒負載鎖，用於可靠、清潔的腔室負載和高效的樣品交換。它易於啟動和維護,確保最小停機時間。該資產還具有直觀的觸摸屏HMI和一系列配方控制選項,包括嵌入式配方和性能分析算法。SEMICORE/MRC SEC-643濺射模型是一種可靠高效的半導體高分辨率沈積設備。它具有多種多樣的電源配置、可調節的腔室壓力控制和堅固的負載鎖定，為各種沈積技術提供了卓越的性能。