二手 SHIBAURA SWN5000 #293634649 待售

SHIBAURA SWN5000是一種用於半導體工業生產薄膜晶片的濺射設備。濺射是將薄層沈積在玻璃、塑料或陶瓷表面等基板上的過程。濺射過程用於電子微電路、光學器件、醫療植入物等微晶片。SWN5000是一種高精度濺射系統，帶有8相電源和高分辨率直流電源控制模塊。這樣可以確保濺射塗層具有均勻的沈積速率，從而在基板上形成均勻的材料層。SHIBAURA SWN5000的控制單元還允許廣泛的脈沖濺射條件，可以根據所需的材料和塗層的厚度進行調整以提供不同的結果。該機還具有很高的精確度，可以用來產生非常小、精確的圖案和其他復雜的形狀。SWN5000使用線形磁控管濺射陰極和獨立的邊緣型屏蔽電極。這類構造允許更均勻的濺射，以及在長寬比較高的區域更精確的沈積。而且，該工具可以產生一系列脈沖持續時間、脈沖功率和脈沖頻率，以實現不同的膜沈積模式。SHIBAURA SWN5000裝有一對陶瓷塗層的石英crucibles，可用來盛放要濺射的目標材料如金、銨、鋁或鎢等。它還有一個壓力控制閥、溫度傳感器和溫度控制單元，允許用戶調節空腔的壓力和溫度，以確保一個一致和可靠的過程。SWN5000具有廣泛的安全功能,例如水冷和互鎖,以防止不必要的篡改。它還附帶一個排氣歧管來疏散空氣中的粒子。總體而言，SHIBAURA SWN5000是濺射塗層薄膜晶片的高效、安全和可靠的資產。其先進的功能使用戶能夠通過廣泛的目標材料和基板實現高精度的結果。