二手 SHOWA SHINKU SIA 3000 #9192914 待售

SHOWA SHINKU SIA 3000是一種最先進的濺射設備，廣泛用於通過物理氣相沈積（PVD）沈積薄膜，具有較高的沈積速率。由於其操作範圍更廣，對氮化物或氧化物薄膜的沈積特別有用。該系統包括一個等離子體旋轉源，它允許在廣泛的膜厚度範圍內沈積厚度和組成均勻的膜。它配有離子通量監測儀，可控制沈積速率，並配有源功率穩定器，以保持一致的沈積速率。此外,該單元還能夠進行直流或射頻濺射,具體取決於要沈積的薄膜類型。SIA 3000旨在為基板預清洗和濺射提供精確控制的環境。室內溫度控制，確保最佳沈積條件，其集成的除粒機確保沈積環境無汙染。該工具使用快速轉移快門操作，允許在各種基板上快速沈積薄膜，包括金屬、玻璃、聚合物和合金。此外，即使在高壓下工作，它的磁屏蔽也能確保等離子體的均勻性和穩定性。為了保證薄膜厚度和組成均勻，資產配備了監測和調整沈積參數的工藝控制模型。該設備還提供了目標的選擇（耐火、合金、陶瓷和復合材料），允許靈活沈積各種薄膜類型。昭和SHINKU SIA 3000最大的優點之一就是其易用的操作系統。它具有用戶友好的圖形用戶界面，簡化了設置過程，便於編程沈積參數。此外，其綜合的傾斜和旋轉特性使基板在腔室中的適當定位變得容易，以達到理想的沈積剖面。總體而言，SIA 3000是物理氣相沈積薄膜的絕佳選擇。其廣泛的特點，如其加熱單元、除粒機、過程控制工具，使其成為一種可靠的資產，可以提供各種薄膜類型的精確一致的沈積。