二手 SHOWA SHINKU SPH-2019F #9078362 待售

SHOWA SHINKU SPH-2019F是一種用於薄膜沈積應用的濺射設備。它是一種經濟高效的解決方案，可提供金屬或半導體薄膜在太陽能電池或液晶顯示器等大型基板上的高質量沈積。濺射系統配備了高性能、直流電/磁控管濺射源，能夠濺射金屬、合金、電介質和氧化物等多種材料。該電源具有高達500 W的可調輸出功率和三種不同類型的射頻功率穩定電源，具有優異的薄膜沈積質量。該單元還包含一個高真空室，該室配有一個無柵極線性平移級，能夠移動直徑達200毫米的基板。整個機器能夠達到低於6 × 10-3 Pa的工作壓力和6 × 10-6 Torr的真空水平。為了便於流程控制,該工具包括一個流程控制器,可設置和監控多達350個流程參數。該控制器具有Windows 7操作資產、直觀的圖形用戶界面、內置的光學編碼器以及實時的沈積速率監視器。此外，該型號還配備了可編程溫度控制器，用於精確的溫度控制，而設備也可以根據客戶的要求進行改裝，以包括額外的模塊和傳感器。SPH-2019F還提供了極佳的薄膜沈積均勻性，平均尺寸± 0.2 μ m，沈積速率高達150 nm/min。該系統還提供了90-95%的絕佳步進覆蓋率,厚度可達200 nm的薄膜可實現卓越的質量。總的來說,SHOWA SHINKU SPH-2019F為薄膜沈積提供了經濟高效的高質量解決方案。憑借其通用的設計、精確的控制能力和高性能的濺射源，是各種應用的理想選擇。