二手 SHOWA VACUUM SPH-3022 #293649684 待售

SHOWA VACUUM SPH-3022是為薄膜沈積在各種材料上而設計的濺射沈積系統。它是一種雙源濺射沈積系統，具有獨特的源沈積和基底沈積設計。來源為電磁懸浮轉子（E-Rotor），底物為陽極氧化鋁室。E-Rotor設計用於將單一材料或多層材料沈積到基板上。E-Rotor設計有兩個同心轉子，每個轉子以恒定速度旋轉，產生氣相基板沈積反應。E-Rotor可以編程為沈積材料和厚度不同組合的薄膜。陽極氧化鋁室在濺射過程中容納基板。它的設計目的是提供最佳的底物-源分離和溫度控制，以維持所需的溫度和沈積條件。該室還容納樣品支架，根據所需薄膜的長度和數量，每個沈積周期最多允許兩個樣品。SPH-3022種濺射沈積系統提供了在各種沈積條件下在不同基質上精確沈積薄膜的能力。其獨特的源和基板沈積設計允許沈積不同材料和厚度組合的薄膜。陽極氧化鋁室保持最佳的底物到源分離以及所需的溫度，而樣品持有者允許每個循環最多兩個樣品。SHOWA VACUUM SPH-3022為需要高度控制濺射的工業應用提供了寶貴的工具。