二手 SLOAN 1800 #293751854 待售
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ID: 293751854
優質的: 1980
Sputtering system
Lid: 26" diameter
Chamber: 30" diameter
(4) Sputtering targets: 3.5" x 8"
Rotating mechanism
1980 vintage.
SLOAN 1800是一種高性能的濺射設備,專為在先進的半導體和微電子制造過程中薄膜沈積而設計。此尖端系統結合了最先進的技術和先進的自動化功能,為各種應用程序提供精確一致的膠片質量。1800單元的核心是它的濺射室,它裝有多個陰極,能夠沈積金屬、氧化物、氮化物等各種材料。雙磁控管濺射技術確保了大尺寸基板的高沈積速率和優異的薄膜均勻性,非常適合大批量生產環境。該機配備了先進的工藝控制能力,包括實時監控和調整沈積速率、薄膜厚度、薄膜成分等關鍵參數的閉環反饋系統。這種控制水平確保沈積薄膜符合制造尖端半導體器件所需的嚴格質量標準。除了先進的過程控制功能外,SLOAN 1800工具還提供了高度的靈活性和可擴展性。該資產可以很容易地配置為沈積多層薄膜,對層厚度和組成進行精確控制,使其適用於半導體、光電子和MEMS行業的廣泛應用。1800型是為便於使用和維護而設計的,其用戶友好界面允許操作員快速設置和優化沈積過程。集成的診斷和預測性維護功能可幫助最大限度地減少停機時間,並確保最大限度的設備正常運行時間,以實現不間斷的生產。安全也是SLOAN 1800系統設計中的重中之重,具有聯鎖、安全傳感器、緊急停止按鈕等功能,在運行過程中保護操作員和設備。單位符合行業標準和規定,確保用戶工作環境安全。總體而言,1800濺射機是先進半導體制造工藝中薄膜沈積的一種通用、可靠的工具。憑借其高性能、先進的過程控制功能和用戶友好的設計,該工具非常適合在精度和可靠性至關重要的高批量生產環境中使用。
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