二手 SLOAN SL 1800-S #70881 待售
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ID: 70881
Automated DC sputter gun system. This system includes 3 sputter gun heads with Sloan Model SP 2/5 2kw power supply. The two part process chamber is l8" dia with the lower ss portion 11" deep, while the upper Pyrex collar and plexiglass implosion cage adds 6" to the overall depth. The pumping system consists of a Varian VHS6 diffusion pump rated at 2400 l/s, integral LN2 trap with controller, electropneumatic valves with Sequentorr II sequencer, ion gauge and a Welch 1397-17.7 CFM mechanical roughing pump. A Sloan Model DDC500 digital deposition controller with 3 sensor heads, shutter control and horizontal planetary are also included.
SLOAN SL 1800-S濺射設備是一種用途廣泛、功能強大的工具,適用於一系列表面塗層應用。該系統能夠使用不同的濺射技術沈積各種材料，用於需要精確控制的過程。濺射過程本身包括用來自電子束的高能離子轟擊目標材料來蒸發目標材料。這導致目標材料產生細粒狀原子，然後通過腔室氣體，沈積到基板表面。這種濺射裝置具有一個直徑18英寸的鐘柱式腔室，這有助於最大限度地提高沈積均勻性和覆蓋整個基板，因為它旋轉。它還具有對基板溫度、壓力和可調沈積速率的精確控制，允許高質量均勻塗層的沈積。SL 1800-S允許直流、射頻或脈沖濺射以及射頻蝕刻。該機包含了多種工藝氣體能力，如氙氣和其他氣體。壓力可以精確控制，使其成為需要精確控制濺射速率的過程的理想選擇。高級控制器還用於調節濺射過程，允許精確和可重復的結果。除了SLOAN SL 1800-S強大的沈積能力外，還允許基板操作。這包括移動和傾斜基板的能力，以及旋轉和改變基板角度相對於濺射目標的能力。基板的旋轉有利於保證塗層的均勻.SL 1800-S是廣泛表面塗層應用的絕佳選擇，如濺射塗層、離子輔助沈積或陶瓷層產品。精密的工藝參數控制和工具的多功能性使其成為以合理的速度生產優質塗料的理想選擇。SLOAN SL 1800-S是一種經濟高效、高性能的資產，是現代塗層應用的完美工具。
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