二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI D200 #9187706 待售

SPUTTERED FILMS INC / SFI D200
ID: 9187706
優質的: 1999
PVD system 1999 vintage.
SPUTTERED FILMS INC/SFI D200是一種小型、臺式多源濺射設備,用於創新材料沈積。其設計在沈積膜的質量和均勻性方面效率很高,沈積速率高達40微米/小時。SFI D200濺射系統帶有一個2 「x2」, 4源工作區域,可以根據用戶的特定沈積要求進行配置。該裝置能夠處理多種來源,如Ar、Kr、O2、Xe、Ne或混合氣源。它還提供了一種反應性氣源的選擇,如O2、N2和SF6。一種自動化的物料搬運機提供快速的基板裝卸、固定和裝卸。底物可以大到2 「x3」。該工具允許同時濺射多達四個元素,具有多個旋轉源和工作平臺。這可用於制造復雜、多層的產品塗層,如金屬層、硬質碳化物、氮化物、電介質和CVD電介質膜。該資產易於使用和維護。它提供手動和半自動氣體和間距控制,實現精確和可重復的沈積。此外,它還配備了電動聚焦模型,可以方便地放置基板和精確的焦距調整。它還配備了一個成人監督設備,用於從室外進行安全的遠程操作。SPUTTERED FILMS INC D200是市面上最廉價的商業濺射系統之一。這主要是由於系統中使用了半導體級泵-允許在不影響真空的情況下進行低成本的高溫泵送。該裝置還配備了先進的軟件控制應用,便於沈積過程的設置和優化。此外,該軟件還允許實時數據監控和參數的輕松校準,以獲得最佳的工藝性能。總體而言,D200濺射機易於使用,成本效益高,提供可靠且可重復的沈積,物有所值。
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