二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628672 待售

ID: 293628672
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6" (4) Chambers CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor PC.
Sputter films IncSPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600是專門為薄膜沈積而設計的濺射設備。該系統利用基於等離子體的濺射工藝將薄膜沈積到基板上。濺射過程包括在真空室中用高能離子轟擊基板表面。這導致原子從目標材料中噴射出來,並以薄膜形式沈積到基板表面。SFI Endeavor 8600濺射裝置采用先進的功能集設計,可提供高的機器性能和更好的薄膜沈積控制。其中一個功能是工具的RF電源控制,它允許用戶調整功率輸出以匹配被濺射的材料。這有助於更好地控制薄膜厚度和沈積速率。此外,SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600包括一臺雙級、多源RF發電機,以最大限度地傳遞電力,減少離子能量擴散。該資產還包括一個10室濺射室設計,使其能夠沈積多層並行提高吞吐量和最大膜質量。此外,該模型還具有模塊化靈活性,允許用戶安裝多達10個工藝模塊、1個機械泵模塊和2個冷卻系統。這提供了一個完全集成的設備,以濺射復雜的薄膜和專門的材料。最後,奮進8600提供了卓越的真空能力,預裝了渦輪分子真空泵和渦輪泵。這允許更快的濺射時間和更好地控制薄膜特性。該系統還設計方便維護,並配有高可靠性組件和集成的安全特性,是薄膜沈積的理想工具。最後,SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600濺射裝置是一種先進的薄膜沈積裝置。它提供了一系列先進的特性和功能,提供了高工具性能和對膠片沈積的更大控制。該資產非常適合存放復雜的薄膜和專用材料,設計方便維護和可靠。
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