二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628674 待售

ID: 293628674
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8" (4) Chambers CTI CRYOGENICS 9600 Compressor PC.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600是為薄膜沈積而設計的濺射設備。具有先進的精密沈積速率控制閉環系統和最大單位性能的低真空室。SFI Endeavor 8600能夠利用磁力增強的薄膜沈積技術在大表面積上產生高純度、均勻的層。它結合了多平面磁體來對準和集中目標材料,從而實現均勻沈積,同時減少目標侵蝕。此外,它還預裝了專有軟件,用於監測和控制工藝參數,如電流、溫度、壓力和沈積速率。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600的設計方便用戶且易於操作。它采用單平面表構建,便於訪問所有組件,從而使操作員能夠根據需要快速配置機器,並在樣品準備和目標更換過程中最大程度地減少材料損失。此外,它還包含一個區域化的運動控制工具,該工具在過程夾具和腔室壁中具有集成的I/O電路,可實現快速、方便的維護和維修。Endeavor 8600提供了廣泛的過程變量選擇,如陰極溫度、脈沖功率和脈沖時間,供用戶定制濺射目標材料以滿足其應用特定要求。它還具有創新的電源分配資產,可消除整個沈積區域的電壓下降,並自動進行調整以解決目標降解問題,從而最大程度地減少均勻性問題和基板損壞。SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600是一款先進的薄膜沈積模型,能夠為眾多應用生產高質量的薄膜。它具有低真空閉環設備,用於精確的沈積速率控制,以及具有快速響應時間的脈沖電源系統,以確保薄膜的一致性。它通過其集成的運動控制單元和區域化的I/O電路提供易於使用和維護。此外,它還可以通過選擇過程變量和它的可調電源分配機來根據具體要求進行定制。SFI Endeavor 8600提供了滿足濺射需求的理想解決方案。
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