二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628677 待售
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ID: 293628677
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6"
(4) Chambers
CTI CRYOGENICS 9600 Compressor
PC.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600是專門設計用於沈積薄膜的工業濺射設備。該系統提供了性能最高的薄膜濺射技術,在一個獨立的,現場升級單元。SFI Endeavor 8600是要求苛刻的薄膜塗層的最佳選擇。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600具有許多特性,使它成為復雜電影應用的創意。其脈沖直流磁控管濺射技術旨在最大限度地提高沈積膜的質量,提供廣泛的基板接受度。隨著沈積速率的擴大,高沈積速率和表面的基本均勻性提高了膠片的附著力和質量。Endeavor 8600包括精密的工藝控制功能,允許完全集成工藝優化特征,以控制各種基板上的薄膜沈積速率和均勻性的質量。此外,集成的Endeavor 5500 CCD攝像頭可增強對焦和邊緣跟蹤功能,從而提高復制過程的準確性。SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600能夠提供範圍廣泛的薄膜,從SiO₂和SiNx等介電薄膜到高貴和耐火金屬,並為用戶提供其工具包中的各種薄膜。SFI通過包括一個獲得專利的用於高級薄膜工藝控制的X射線源,使自己與其他濺射機脫穎而出。此X射線源集成到SFI Endeavor 8600中,有助於過程控制,並確保將薄膜從濺射薄膜中沈積到基板上的程度降至最低。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600是一款自成一體的工具,具有鋁制底座和陶瓷元件和內層的不銹鋼外殼。資產還包括前後氣流中的終端效能服務門,以提供無展位配置的靈活性。Endeavor 8600的設計采用24小時工作周期,以確保濺射時的重復性和可操作性。此外,SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600還為操作員提供了一套安全和緊急功能,如緊急停止按鈕、火花抑制器和緊急自動關機。緊急情況特征確保操作員的安全,並在發生緊急情況時盡量減少底層。總體而言,SFI Endeavor 8600是一款令人印象深刻的濺射機型,具有滿足業界需求的特性和功能。包含在自備設備中,SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600是先進薄膜濺射的完美選擇。
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