二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor #293626681 待售
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ID: 293626681
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6"
(3) DC Sputter chambers
Ion mill
Cassette
Handles
Pressure gauges
Power supplies
Missing parts:
Backing pumps for turbo pumps
Cryo pump
Compressor.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor是一種高性能的濺射設備,專為超薄膜沈積而設計。SFI Endeavor利用先進的閉環反饋濺射工藝,能夠產生超光滑、均勻和粘附的相幹。該系統具有配備多種技術的真空室單元,包括大功率直流磁控管濺射管理單元、用於氧包含的電子回旋共振源、直流電源的線性電源以及大範圍的可互換目標,從而提高了沈積一致性。SPUTTERED FILMS INC Endeavor濺射目標設計也確保了均勻的沈積速率,同時提供了可調的射頻功率水平以允許精確控制等離子體密度和電離。專利工藝采用機械電機目標定位和圖樣,保證濺射塗層的均勻性和可控性。機器采用的先進技術確保了高沈積速率,去除顆粒,消除離子轟擊損傷。該工具利用了最佳的壓力和溫度控制資產設計,以保證沈積質量,由於塗層材料的定制硬度。奮進濺射模型用途極為廣泛,允許多層/堆棧應用和不同基板的復雜結構。適用於從電子元件、汽車零部件、眼鏡到先進的微光學和醫療設備等多種應用。此外,SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor還提供出色的工具性能,並提高了控制和準確性,以獲得改進的最終產品。SFI Endeavor是一種先進的濺射設備,非常適合適應每個應用程序和沈積層的確切要求。其先進的閉環反饋濺射工藝確保了薄膜沈積的一致性和均勻性,而用戶友好的軟件則提供了優異的效果。選擇可互換的目標可以實現卓越的多功能性,使SPUTTERED FILMS INC Endeavor成為任何薄膜沈積應用的理想系統。
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