二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Shamrock 5 #9315279 待售

SFI （SPUTTERED FILMS INC） SPUTTERED FILMS INC/SFI Shamrock 5是一種物理氣相沈積（PVD）濺射設備，設計用於薄膜的高精度沈積。該系統的設計滿足了平板顯示器、光電、儲能、薄膜光伏電池等一系列行業的生產濺射應用需求。SFI三葉草5是一種單源全範圍濺射沈積裝置，提供可重復和一致的薄膜沈積結果。SPUTTERED FILMS INC三葉草5利用專為PVD應用而設計的高效真空磁多極磁控管。磁控管能夠在最多四個獨立的濺射源下運行，具有優越的均勻沈積特性。真空室的設計提供了更好的等離子體均勻性和低顆粒物產量。試樣臺載重量50公斤，可360度旋轉，手動從0向45度傾斜或可遙控。載氣輸送機向該單元供應氧氣或氙氣，流量範圍為0至500立方厘米/分鐘。三葉草5具有完全集成的過程控制工具，可以控制整個PVD過程。這包括基板溫度監測、可調工藝參數和實時工藝監測。資產包括統計過程控制（SPC）模型的接口,用於記錄過程和質量控制數據。SPUTTERED FILMS INC/SFI三葉草5可以沈積大部分金屬、合金、陶瓷材料和有機材料。該設備還支持特殊應用的單層和雙層沈積。該系統可以手動或遠程操作，可以與一系列數字和模擬設備連接。該單元還提供了數據采集、分析和過程控制的軟件程序和儀器選擇。總體而言，SFI三葉草5是一種高效、高精度的濺射機，適用於各種沈積過程。該工具的高級流程控制資產提供了一致且可重復的結果。該模型操作簡單，為用戶提供了遠程控制流程參數和實時監控結果的能力。