二手 SYSTEM CONTROL TECHNOLOGY / SCT VLS 2150 #9240536 待售

設備控制技術/SCT VLS 2150是一種濺射系統，廣泛應用於半導體工業。該機組設有循環液氮（LN2）儲層，為沈積過程提供低溫濺射。該機提供物理和化學氣相沈積（PVD和CVD）以及基板冷卻和高精度溫度控制。SCT VLS 2150具有整體傾斜旋轉磁控管（MTM）,非常適合濺射各種材料。TOOL CONTROL TECHNOLOGY VLS 2150具有多種交互式、直觀的操作員界面,可確保最佳、一致的結果。此資產使用戶能夠精確地設置和監視濺射參數,以及以圖形方式導航濺射過程。可將基於PC的遠程監控模型添加到設備中以實現最佳控制。VLS 2150具有濺射室，可以同時濺射多達五個樣品，同時保持獨立的溫度控制。基板冷卻被集成到系統中，這對於半導體工業生產更高精度的層很重要。該單元還可以處理多種材料的沈積，包括金屬、氧化物等。在安全性方面，Machine CONTROL TECHNOLOGY/SCT VLS 2150擁有許多特色，例如觸摸屏HMI、三重安全門蓋和聯鎖、可調排氣氣流，以維持工具的安全操作。其高度自動化還確保了最高安全標準和高度可靠的過程。SCT VLS 2150濺射資產控制器配備了先進的實時濺射沈積控制功能，以及配方管理和存儲模式，允許用戶最多存儲300個配方。它還包括自動操作，提供最高水平的準確性和可重復性。總體而言，設備控制技術VLS 2150濺射系統是為半導體及相關行業設計的一個強大的設備。它提供多種功能,包括高度自動化、精確的溫度控制和交互式界面。VLS 2150以其先進的受控沈積，是濺射工藝的可靠高效選擇。