二手 TANGO SYSTEMS Topaz #9209449 待售
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TANGO SYSTEMS黃玉是一種中央控制的濺射設備，設計用於高純度薄膜的沈積。它采用模塊化設計，為不同的沈積應用提供了靈活性。該濺射系統由一個主控制器單元組成，該單元具有用於控制單元操作和傳輸濺射參數的各種輸入和輸出端口。該機還包括一個倒置磁控管陰極、一個帶控制器的排空子組件、一個真空工具、一個高壓放大器、四個RF模塊、一個過程排氣、一個基板偏置和一個電源。黃玉的設計允許沈積薄而均勻的薄膜，對工藝參數進行精確控制。該資產能夠在大面積和高沈積速率下沈積薄膜。它還配備了強大的控制模型，允許用戶為不同的應用程序編程過程參數。該設備能夠產生各種各樣的特定沈積，從大面積到致密材料。在主控制器單元方面，它被設計為可以容納四個RF驅動模塊，一個亮度調整和一個電流控制。四個RF驅動模塊提供給濺射陰極供電，而亮度調節有助於調節薄膜對比度。還包括電壓控制器，用於根據沈積過程控制施加的電壓和電流。主控制器還提供溫度感應能力，用於膜沈積溫度的分辨率。溫度感應器用於測量膜沈積過程中基板的溫度，系統執行器在需要時調節基板溫度。該單元還具有提供流程監控和診斷功能的能力。可用於顯示多種基板和沈積參數，使用戶能夠監控沈積過程。TANGO SYSTEMS黃玉濺射機還包括一個專有的自動化過程控制軟件，它為用戶提供了自定義和編程不同沈積過程的靈活性。該軟件可用於控制溫度、沈積速率和其他參數，以獲得所需的結果。這些流程參數可以根據要求使用程序的用戶界面進行修改和編程。自動化過程控制軟件也可用於實現數據自動記錄，以進一步分析沈積過程。總體而言，黃玉是一個全面的濺射工具，它結合了尖端技術和有效的用戶界面，使薄膜的高效和精確的沈積。這一資產用途廣泛，效率高，能夠以高沈積率沈積高質量薄膜。
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