二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Nimbus 314 #9206551 待售

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ID: 9206551
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Sputtering system, 12" Includes: (3) Magnetrons RF Substrate bia ICP Etch Options With main system: (18) Electrostatic chucks for wafer (6) Trays Load lock degas SECS / GEM Interface Magnetron: G1-HP W/Ti 2007 Nimbus 314HP 300MM robot upgrade to include: EFEM: 12" (6) ESC Trays: 12" (2) Ground plane etch shields: 12" (2) Cassette adapters 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nimbus 314(一種濺射設備)來自TEL(NEXX),是一種可自訂且高度配置的濺射系統,旨在以低成本製造高品質薄膜。TEL Nimbus 314利用了由三個獨立目標組成的三板設計,允許用戶同時濺射多個晶胞或金屬。濺射膜還可以針對電阻、結晶度、潤濕特性等特性進行精確調諧,讓用戶創造出符合其精確要求的獨特精準膜。NEXX Nimbus 314利用獨特的磁密閉等離子體源,在目標腔室中產生比其他濺射系統更高濃度的離子。這導致更高的沈積速率和更大的均勻性在濺射膜,減少汙染的可能性,使其成為理想的大體積應用。磁密閉等離子體源也允許Nimbus 314處理廣泛的目標材料,從貴金屬到合金和半導體材料。TOKYO ELECTRON Nimbus 314旨在最大限度地提高效率和靈活性。它有一個可調節的供應單元,可以配置為提供各種電壓和基板,以確保目標材料被有效和一致地濺射。它還具有可用於精確角度調整的角度不變離子槍,以及用於增加可用濺射面積和定心精度的可調入射角。TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nimbus 314還具有直觀、易於操作的用戶界面,使其成為有經驗的專業人士和新用戶的理想選擇。它還配備了一套用於監控膠片增長的工具,以及用於調整各種參數以實現最大效率和可重復性的自動化流程。此外,該機器還內置了安全功能,旨在保護用戶免受意外接觸濺射材料的傷害。綜上所述,來自TOKYO ELECTRON的TEL Nimbus 314 (TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX)是一款配置性強、效率高的濺射工具,旨在獲得最佳性能和優越的薄膜質量。它提供了高度的靈活性,允許用戶定制他們的影片,以滿足他們的確切要求。這一資產利用強大的磁密閉等離子體源產生濃度更高、覆蓋範圍更均勻的離子,從而產生更一致的沈積速率和更高質量的薄膜生長。此外,它還配備了全面的用戶界面和各種自動化流程,以提高效率和安全性。
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