二手 TORR CRC-150 #73201 待售

TORR CRC-150濺射設備是專門設計用於研究和工業應用的高性能濺射塗層。它提供了可靠可靠的沈積性能，適合眾多的工藝應用要求。這種用途廣泛的濺射塗料可用於沈積各種材料在廣泛的基材尺寸和形狀。CRC-150可以處理各種金屬、氧化物、氮化物和各種工藝配置中的合金。TORR CRC-150是為快速、可靠的晶圓兼容性而設計的。它提供了一個機器人晶圓檢索系統容易晶圓加載。該單元能夠處理多個晶片與單次通過操作，並提供一致的結果。它也有幾種沈積模式，包括標準的均勻層沈積、階梯層沈積和深錐形蝕刻過程。CRC-150濺射機配備了大功率遠程等離子體源（RPS）和先進的濺射過程。該工具能夠在整個晶圓表面積上產生具有卓越均勻性和薄膜厚度的高質量塗層。該資產提供了廣泛的參數來控制，如工藝室壓力，氣體流量，直流和短脈沖偏差，目標濺射速率。TORR的堅固耐用的設計和堅固的結構CRC-150使其能夠生產出具有優異粘合性能的金屬和陶瓷薄膜。此模型具有先進的自動化過程控制（APC）功能,能夠產生緊密的均勻性和沈積速率、厚度及其他沈積參數的可重復性。APC設備能夠在生產過程中自動更改目標參數,以適應不斷變化的條件。CRC-150還配備了實時監視器,可監控系統在處理過程中的性能,並提供相應的反饋以調整處理參數。這個單元還提供了一個觸摸屏控制界面，可以用來設置和查看濺射過程的參數。TORR CRC-150設計用於薄膜的精密沈積,廣泛應用.非常適合生產優質、穩定、均勻的薄膜層。這種具有成本效益和高效率的濺射塗料機提供精確的沈積和過程控制，並具有最小的運行可變性。