二手 TORR CRC-150 #9122386 待售

TORR CRC-150是TORR Scientific制造的一種綜合性濺射設備。該系統設計用於將一系列材料的薄膜沈積到基板上，達到用戶精確指定的厚度。它非常適合生產具有適合各種應用的定制特性的樣品。該單元包括一個體積足以容納四個濺射目標和兩個基板的真空室。腔室由高抗性不銹鋼構成，底壓約為0.15帕，配有顯示器監視器和自動化操作的集成微處理控制器。真空室還設有一個雙通、無油冷凍泵和一個用於排氣的旋轉閥。該機包括一個四槍磁控管濺射源，能夠沈積具有特定金屬與其他元素比例的薄膜。基板支架的設計可以容納尺寸不超過5厘米的樣品。基板支架可以移動到各種位置，以實現最佳的氣相沈積角度。在沈積薄膜時，CRC-150的控制器可以提供目標-基板距離和濺射壓力的精確控制，以及電壓和功率的精確調節。此外，控制器顯示腔室壓力，使多層膜在多個基板上沈積，並允許自動端點檢測和薄膜厚度計算。此外，離子源被集成到用於離子束輔助濺射否則難以沈積的材料的工具中。資產的電源設計為在允許控制濺射速率和沈積物料數量的水平上提供直流和交流的可變性。最後,TORR CRC-150允許自定義設計和修改以滿足特定的應用程序。例如，模型可以安裝額外的基板或目標支架，或定制設計的真空室。此外，該設備還具有與其他實驗室設備（如質譜儀）集成的接口。總之，CRC-150是一個高度通用和先進的濺射系統，旨在以高精度、高速度和高可靠性將薄膜沈積到基板上。適用於廣泛的行業，包括材料研發、光學塗層、半導體應用等。