二手 TRIKON / ELECTROTECH Delta 201 #293621505 待售
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TRIKON/ELECTROTECH Delta 201是為了在各種基板上沈積薄膜而開發的高性能濺射設備。該系統是一個單源、多腔、開幀濺射單元，允許廣泛的工藝參數，是研究和工業環境中要求苛刻的應用的理想選擇。TRIKON DELTA 201提供五個用於濺射塗層的腔室，包括裝卸腔室、大型主腔室和小型腔室。腔室以電子和氣動方式相互隔離，真空範圍為0.5至1.0 mTorr。這臺機器具有很高的沈積均勻性.可調的冷凍和加熱錨使基板溫度得到精確控制。ELECTROTECH Delta 201可以容納多種基材，包括金屬、陶瓷、玻璃、晶片直徑達8英寸，厚度達4英寸。該工具具有平坦、幹燥的板材,可選擇線性、旋轉或實驗室手動轉移裝載選項。可調的端區高度和靈活的Y區範圍使得微調各種基材的工藝參數成為可能。Delta 201配備了TRIKON專利的「TDC-200」沈積控制器，它具有直觀的界面和用戶友好的導航。該控制器可輕松訪問所有工藝參數和配方,同時控制所有5個濺射室。該控制器具有射頻阻塞功能和各種過程監控功能。TRIKON/ELECTROTECH Delta 201的濺射能力是首屈一指的。其特色是獲得ELECTROTECH專利的「伊卡洛斯」惰性氣體淋浴，可提高濺射效率並提供廣泛的濺射工藝。Lift-off™目標配置提供均勻的濺射、優異的材料利用率和高度可控的薄膜厚度輪廓。總體而言，TRIKON Delta 201濺射資產是一種先進、通用的沈積模型。它為用戶提供了對工藝參數的高精度控制，具有出色的均勻性和可重復性。該設備能夠以優異的材料利用率和可控的薄膜厚度剖面執行廣泛的濺射工藝，適合多種應用。
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