二手 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123640 待售
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ID: 9123640
晶圓大小: 6"
PECVD System, 6"
Process: SiN-SiC (Sio2)
Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4
Manuals included.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210是為各種appli ca tions設計的質量濺射設備。該系統具有優質金沈積的所有必要特征,是研究和工業工藝的理想選擇。該單元基於三軸計算機控制的運動平臺,包括兩個線性滑軌和一個旋轉。這就創造了400 x 400 x 70 mm的最大工作面積。共有三個武器,每個武器最多攜帶四個目標進行雙重或四次配置,提供無限的取樣到目標距離。TRIKON ND-6210憑借其高性能的Turbo Ionization Vacuum (TIV) Sputter源實現了金沈積的最高精度。這種最先進的技術具有極低的電離速率,從而進一步降低了薄膜應用的金沈積速率。同時,其高壓電弧點火提供了較高的沈積速率。TIV源還支持短備用電流,這意味著機器可以在不同的黃金配置文件之間快速切換。ELECTOTECH ND-6210還提供了各種各樣的支持過程監控工具。其用戶友好的觸摸液晶面板可提供精確的濺射壓力讀數,並實現遠程壓力控制。它還允許直接調整操作參數,從而使用戶可以完全控制沈積過程。此外,ND-6210保持較低的氣體溫度,並具有90度可彎曲耦合功能,可確保刀具的最大靈活性。通過防止汙染,延長了部件的使用壽命,保持了一個清潔的工藝室。總之,TRIKON/ELECTROTECH ND-6210是一種先進的濺射資產,專為各種應用而設計。由於其最先進的TurboIonizationVacuumSputter源,它在金沈積方面提供了卓越的精度和控制。支持過程監控工具、用戶友好的觸摸液晶面板、低溫和柔性耦合進一步增強了其吸引力。
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