二手 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123641 待售

ID: 9123641
晶圓大小: 6"
PECVD System, 6" Process: SiN-SiC (Sio2) Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4 Manuals included.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210是設計用於各種工業、實驗室和研究應用的高性能濺射設備。該濺射沈積系統由沈積室、電磁驅動目標以及相關電源和控制系統組成。該裝置還具有氣體輸送機和精確的真空控制,以實現良好的環境控制.TRIKON ND-6210能夠控制濺射沈積到基材上,如金屬、半導體和玻璃,以及各種薄膜材料上。該工具采用磁控管濺射技術,這是一種行之有效的將薄膜沈積到基材上的技術。這種濺射技術通過用磁體轟擊基板表面並提供必要的電源,創造出所需的具有所需特性的薄膜材料。電工ND-6210使用最先進的電子和控制系統對沈積過程進行精確監測和控制。該資產包括溫度和壓力傳感器,以維持和優化濺射條件。ND-6210通過對反應性和惰性氣體的精確流動控制,使沈積達到一個新的水平。該模型還可用於聚合物沈積、濺射蝕刻和多目標構型。再者,設備可以包含一系列的基板,包括矽、陶瓷和薄膜太陽能電池材料。TRIKON/ELECTROTECH ND-6210對於那些尋求高質量濺射系統的用戶來說是一個經濟實惠且高效的選擇。該系統提供了一系列的特點和優點,如優秀的工藝控制,自動化操作,並在沈積膜卓越的均勻性。該設備高度可靠,在各種工業和研究環境中提供出色的性能。
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