二手 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123644 待售

TRIKON/ELECTROTECH ND-6210是為詳細的多層沈積而設計的高性能濺射設備。該系統非常適合多種應用，如光電子、混合微電子、太陽能電池、柵極電介質、防護塗層以及許多其他物理氣相沈積過程。TRIKON ND-6210具有先進的直流電源單元,最大額定功率高達25 kV,峰值輸出為500 W。這使得它適合各種應用,因為高電壓允許完全控制沈積層的深度和均勻性。ELECTROTECH ND-6210還包括一個獨立的三期控制機器，它允許控制目標電流、電壓和/或功率。ND-6210具有堅固的機械結構，以確保沈積過程中的長期穩定性。該結構包括可靠的真空室和高精度運動級。真空室是一種完全集成的分配箱工具，具有大容量擴散泵和兩級機械泵。這允許基壓高達5 x 10-9 Torr。運動級的分析分辨率較低，為0.1微米，由伺服驅動馬達操作。這樣可以精確定位基板和目標。TRIKON/ELECTROTECH ND-6210還具有直徑10厘米的內置濺射目標。目標是由陶瓷和石墨等非常適合直接沈積的高純度材料制成的。此外，濺射靶可以支撐氧化物、氮化物、矽化物等非金屬材料。射頻電源可確保精確的電源傳遞和控制功能,從而實現均勻的層厚度。TRIKON ND-6210還以直觀的用戶界面設計為用戶友好。資產包括觸摸屏、數字反饋指示器和可編程過程配方。用戶還可以輕松控制壓力、過程時間、氣體流量、電流等過程參數。這使得用戶可以輕松調整濺射過程，實時監控沈積。總體而言,ELECTROTECH ND-6210是一種健壯、高性能的濺射模型,非常適合多種行業的多層沈積。其先進的電源設備、獨立的三期控制系統、堅固的機械結構、濺射目標和用戶友好的界面，ND-6210是任何精密沈積應用的理想選擇。