二手 TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655332 待售
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TRIKON/ELECTOTECH PLASMAFAB MS4200是為精密薄膜沈積而設計的多功能濺射設備。該系統配有易於調節的可轉動雙目標護罩，提供出色的均勻性和薄膜均勻性。該MS4200還有一個高效的可變電源，用於準確控制傳遞到濺射目標的電源。可變電源允許調整目標通量和護套電壓。它還具有平面單晶目標設計，以提高濺射速率。該MS4200還配備了一個溫度範圍從150攝氏度到450攝氏度的均勻基板加熱器，用於持續調節和薄膜脫水。此功能可確保在各種基材尺寸和厚度上均勻沈積。加熱器還能在較大的晶圓直徑範圍內提供高溫均勻性和穩定性。該MS4200還擁有一個功能齊全的氣體管理單元，氣體流量、壓力和範圍均可調節。它還具有射頻發生器和可選的過程控制,以提高靈活性。該發生器允許調節射頻脈沖寬度，以確保最佳膜均勻性和附著力。最後，為MS4200提供了一臺真空機，以保持腔室的工藝均勻性和密封性。總體而言，TRIKON PLASMAFAB MS4200非常適合沈積密度、均勻性和均勻性較高的薄膜。該工具的多功能功能為用戶實現薄膜沈積目標提供了必要的靈活性和性能。
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