二手 TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655335 待售

TRIKON/ELECTOTECH PLASMAFAB MS4200是一種高度通用和可靠的濺射設備,專為薄膜沈積在一系列基材上而設計。它非常適合用於制造半導體器件、平板顯示器和其他電子元件。該系統能夠生產高質量的均勻薄膜，並具有多種材料成分的可能性。它包括一個真空室和三個獨立的磁控管濺射頭，可以串聯使用或單獨使用。健壯的離子源控制著預濺射環境，允許過程優化以達到所需的基板特征大小。該裝置采用先進的控制器控制，可實現自動薄膜濺射調節和均勻性控制。可以調整廣泛的工藝參數，以實現對濺射工藝的精確控制。流程狀態通過圖形用戶界面進行監控,圖形用戶界面提供沈積的概述,並允許輕松進行任何更改。該MS4200還配備了一些附加功能，如基板旋轉的可變速度和所有目標的可調冷卻，以進一步提高均勻性和準確性。腔室內的不同工作區域可以獨立加熱，以最大限度地利用機器可能的應用。使用零維護功能和出色的安全功能使MS4200成為一種成本效益高、用戶友好的薄膜沈積工具，非常適合研發實驗室。它為各種用途的各種材料提供了一種可靠和一致的濺射沈積方法。