二手 TRIKON Sigma 200 #9225665 待售

TRIKON Sigma 200是專門為制造先進半導體器件而設計的幹式等離子體蝕刻器/asher。它為經濟實惠的小巧包裝中的蝕刻和灰燼工藝提供了卓越的性能。Sigma 200有效地從晶片表面蝕刻揮發性有機化合物（VOCs），導致表面極為清潔，背蝕刻最少。它還能夠以較低的運營成本實現幹凈、高長寬比的蝕刻輪廓。TRIKON Sigma 200具有一個足以容納各種晶圓尺寸的工作室。腔室裝有自動裝載設備，能夠處理多達3英寸的晶圓和25毫米的晶圓。高級過程監視系統監視蝕刻過程中的任何更改。該單元還能夠控制脈沖和連續模式下的蝕刻和灰分過程。Sigma 200配備了堅固、全金屬的設計和高扭矩電機，以實現最大的生產力。該機器還提供了出色的過程控制和可重復性，在廣泛的負載範圍。各種氣體輸入也可用於適應矽、鋁、玻璃等不同材料的工藝要求。TRIKON Sigma 200提供多種蝕刻和灰燼工藝。它能夠同時進行各向同性和各向異性蝕刻，具有可變壓力、流速和功率水平，以提供對過程的精確控制。該工具還能夠實現高長寬比蝕刻形狀，這通常是更先進的半導體器件所必需的。此外，該資產還可用於柵極氧化物蝕刻、存儲單元的源和排水開口以及薄金屬膜的接觸開口。對於那些需要具有卓越品質和靈活性的蝕刻器/asher的用戶,Sigma 200是理想的選擇。它的占地面積小、運營成本低,以及出色的工藝控制,確保用戶充分利用其蝕刻和灰燼預算。