二手 ULVAC (5) Chambers for sputtering system #293636262 待售

用於濺射設備的ULVAC（超低真空）腔室是一種用於多種工業應用的高性能、多腔室系統。該裝置通常用於生產濺射膜、塗層材料和電化學蝕刻等工藝。ULVAC機由三個主腔室組成。第一，主室用作儲藏室和運輸室。這個腔室可以被疏散到10-7百帕的非常低的壓力，允許在一個受控的環境中儲存和運輸加工材料。這種低壓條件還允許有效的濺射過程和在基板上生成塗層。其次是磁控管腔室，是磁控管濺射沈積過程中使用的封閉式腔室。封閉式腔室允許磁控管的完全密封。這個腔室在10-5 hPa的真空中操作，可以為特定的工藝要求配備多種磁鐵。第三室，反應室，用於化學氣相沈積（CVD）過程。該腔室采用10-4 hPa的真空，一般裝有多噴嘴沈積工具，以確保在整個基板上達到均勻的塗層厚度。ULVAC分庭還包括一系列技術特點。磁控管室特別配備了離子源和氣體出口，從而提高了對沈積過程的控制水平。此外，資產還包括高級監控模型和數據記錄功能，使操作員能夠監控流程並確保安全運行。此外,該設備還設計為模塊化系統,允許進行各種流程配置以滿足特定需求。這使得高真空蒸發、共蒸發、激光劃線等過程得以進行。總而言之，用於濺射裝置的ULVAC室是幾個行業的工業和實驗室應用的理想選擇。盡管它的復雜性，機器易於使用，可靠和設計高效生產。利用先進的技術和最新的設計特點，ULVAC商會可以為先進的工業和科學應用提供一個安全、可靠和高效的程序。