二手 ULVAC Ceraus Z-1000 #9053697 待售

ULVAC Ceraus Z-1000是為薄膜沈積工藝設計的濺射設備。該系統通常用於研究和生產環境，使用磁控管濺射技術將金屬薄膜或其他材料的薄膜沈積在基板上。這項技術非常適合於制造鋁、銨、全新、鈦、鉻、鈷、鉑、氙和鎢的薄層，塗層厚度從10nm到1000nm不等。Ceraus Z-1000裝置配有一個提供寬敞工作空間的濺射室和一個提供高水平汙染控制的鐘罩密封機器。采用開放式腔室設計，便於基板裝載，采用閉環冷卻水工具，確保工藝溫度穩定。它還配備了經過嚴格設計的內部氣體控制資產，以可靠地監測和調節壓力。該模型利用安裝在濺射室中的兩個陰極，每個陰極都有多個磁控管線圈。陰極連接RF和DC電源，允許獨立控制腔內的正負離子。這使得不同濺射材料的選擇性沈積和材料的組合形成2層到5層的薄膜。設備還可以創建串聯和多層結構。在真空方面，系統運行在1x10-4到1x10-6Pa的範圍內，有一個主泵機，一個渦輪分子泵，一個固定板管和前泵選項。在外側，先進的自動化界面提供了從遠處輕松的控制、監控和操作。該機還提供了工藝參數的數據和軟件控制,如首選塗層厚度、停留時間、泵速、泵時和浮動電壓。ULVAC Ceraus Z-1000是一種具有集成腔室設計的中真空濺射工具。沈積速率高，工藝控制精密，薄膜沈積質量高。它非常適合研究和生產對薄膜成分、薄膜性能和基材尺寸有嚴格要求的高精度薄膜。